(1)振幅调制的KPFM(AM-KPFM)
(2)频率调制的KPFM(FM-KPFM)
(3)快速FM-KPFM
(4)双谐波的KPFM(DH-KPFM)
AM-KPFM
对于AM-KPFM,使用PLLloop记录表面形貌像。一个额外的正弦KPFM交流信号施加一个频率,该频率足够高到PLL回路不受影响。信号的X部分使用一个额外的锁定路径探测。KPFM的直流偏压控制是基于此X值完成的,如果衬底的偏置方式是在欠补偿或过补偿的表面势的方式下,那么X值就会变成正值或负值。如果表面势得到正确的补偿,那么锁定放大器就测量不到X信号,从而确保了表面势从直流偏压中读出。
FM-KPFM
对于FM-KPFM,使用PLL回路记录表面形貌像。一个额外的正弦KPFM交流信号施加到基地上-与AM-KPFM步骤类似。但是,该信号是低频信号,从而确保PLL回路能跟踪由电位分布的变化而造成的谐振频率的变化。锁定探测不是由输入信号完成而是由PLL的微分(df)信号完成。
信号的X部分使用锁定路径探测。KPFM的直流偏压控制是基于此X值完成的,如果基地的偏置方式是在欠补偿或过补偿的表面势的方式下,那么X值就会变成正值或负值。如果表面势得到正确的补偿,那么锁定放大器就测量不到X信号,从而确保了表面电位从直流偏压中读出。
快速FM-KPFM 产品:HF2PLL+MF+MOD
考虑到有关的物理背景,直接的FM-KPFM方法就像传统的级联FM-KPFM方法。然而,PLL的带宽设置的足够高到跟踪基地的形貌,但比KPFM交流信号要低。使用频率调制信号的回复中心频率,使用HF2LI-MOD Dual AM/FM Modulation选件可以进行直接的边带分析。这为PLL跟踪带宽的低要求提供了优势。但是更加值得注意的是对PLL df信号没有进行滤波处理及信噪比(SNR)可能增加sqrt(2)倍。
DH-KPFM
与KPFM其余的模式不同,双谐波KPFM是一个开环方法。基底电位是通过检测信号的ω和2ω部分计算的。如果基底表面电位是零,那么只有交流偏压信号的2ω部分能够被检测到。电位越高,ω部分产生的越多,而2ω部分总是由于电容器的电势曲线的抛物线形状而保持不变。
本文来自Andreas Senn(Zurich Instruments)的博客《HF2PLL for KPFM Applications》,详细的英文介绍,请参见如下链接