对于PDMS芯片的加工,通常采用软光刻技术进行加工制作。通常有4个步骤:
第一步:利用CAD软件绘制所需要的结构图
第二步:利用软光刻技术加工SU8模板
第三步:利用SU8加工所需要沟道图形的PDMS片子
第四步:将PDMS键合到载玻片或PDMS片子上,获得所需要的PDMS芯片。
如果您已经有了SU8模板,那么该如何操作才能制作出PDMS芯片呢?
如果想了解PDMS芯片的加工流程,请点击这里(以SU-8模板为例)。