简易的紫外线腔室柜
该紫外线腔室工具集中于一点:光致抗蚀层的UV曝光。这是一个使用UV LED工作的便携简易设备,可确保较长的使用寿命及完美的中心曝光波长,且无需加热或冷却时间。您可以对设备的曝光功率和曝光时间这两个主要参数进行调节,以有效地加工微流体模具。
● 可编程的功率和曝光时间
● 简易的遮罩位置
● 快速且易于使用
● 不需要洁净室
优势
● <15°的准直良好的光线
● 可编程的照明功率和曝光时间
● 可切换的UV LED光源(365nm,385nm,395nm,405nm)
● 提供软光刻工艺的技术文档和知识
价格低廉的简易曝光设备
使用UVW25曝光机,操作简单且高效。主要目标是使您的光刻胶暴露在所选的紫外光线下。
技术支持
我们对提供的所有设备均提供高水平的支持,同时也为曝光前后的相关微加工步骤提供支持。我们不仅可以帮助您完成加工流程的一部分,同时还可以在整个流程中为您提供指导。
技术规格
● 集成紫外线灯的UVW25曝光机,提供365nm、385nm、395nm或405nm四种不同的波长选择,以适应各种光刻胶。
● UVW25曝光机具有90%以上的曝光均匀性和15°以下的准直角
● 标称曝光功率为250mW/cm2,但可以在20%至100%之间进行调节
● 托盘尺寸为300×300mm,因此可用于曝光6英寸的基材。
● 托盘可以通过5个不同的位置移开或移近紫外灯(它将定义典型的功率和暴露在表面上的区域),该位置有5个不同的位置:距离UV LED灯的发射窗口5/10/15/20/或25cm。
● UVW25的正面有一个安全窗口,可以在曝光期间无风险地看到曝光过程。