微流控芯片加工工作站
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微流控芯片加工工作站

用于微流控软光刻的干膜层压工作站

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使用层压工艺快速简单的加工模具

我们提供适用于干膜光刻胶的层压套装。该层压套装提供了加工微流体模具所需要的一切组件。干膜层压可以出色的控制微结构的高度,并且模具可以在不到一个小时的时间内加工完成,同时它也比基于树脂基模具更清洁、更快和更便宜。

●  快速的加工协议(加工时间1小时以下)
●  精确控制微结构高度
●  比基于树脂的光刻便宜
●  干净整洁的工艺过程


优势
●  芯片加工的高度可重复性过程
●  包括用于PDMS键合的全自动等离子体清洗机
●  快速加工过程并在24h内加工芯片
●  提供软光刻工艺设备的全部技术支持


包含的组件
配套设备

(1)完整的空气等离子体系统
(2)快速PDMS固化用的烤箱
(3)PDMS去泡器
(4)加工PDMS膜用的旋涂机
配件与化学品
包括所有化学品(PDMS、异丙醇、丙酮等)和所有实验室配件(载玻片、培养皿、一次性杯子、搅拌棒、手术刀等),以便为您提供最完整的配件。


   
技术支持
标准支持包:
我们会为您提供所有仪器的售后服务,为您提供微细加工过程表格和教程,同时提供1年的电话支持,以回答您可能遇到的任何微细加工问题。

扩展支持包:除了标准的技术支持包,我们研发团队还会在您的实验中直接安装您的设备,我们会根据您的需求在现场调整我们的所有微加工工艺,并培训您的团队,直到准备好加工所有微流控芯片为止。

技术规格参数
我们为您选择并采用了最好的仪器,以使其与可靠的加工过程协同工作。您可以从下面看到设备的简短说明。


轧机


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轧机设备具有6个卷辊和4个加热部件。运动速度和加热温度可根据应用进行调整,并可用于高达3mm的厚度。这些卷辊可以前后移动,并且易于清洁。

适用于软光刻应用的设备

较宽的运动速度和温度范围提供了与不同种类的干膜光致抗蚀剂一起使用的可能性,甚至可以通过层压在预先设计的层上来构筑3D结构。轧机小巧易用,非常适合安装在任何地方,尤其是在洁净室之外。

主要优势:
●  易于使用
●  可与任何干膜光刻胶一起使用
●  较宽的速度(高达1.3m/min)和温度范围(高达140℃)
●  数字面板可全面控制参数
●  容易清洗

UV灯系统

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独特的UV LED曝光和遮罩系统(可选),具有365 nm或者385 nm波长的可用光源。这是一种非常紧凑的台式系统,能够对直径最大为4英寸的晶圆表面积进行曝光。该自动UV曝光系统与硬(物理)或软(接近)掩膜触点兼容,并具有可变的掩膜到基板距离的控制功能。

适用于软光刻应用的设备

该UV曝光系统具有2μm的分辨率,特别适合软光刻应用。闪光曝光可以减少光刻胶的内部机械应力。其体积小巧,可将其安装在所需的任何位置,尤其是在洁净室之外。

主要优势:
●  晶圆表面上方的完美单色曝光(带宽低于10 nm)
●  冷紫外线
●  光线发散角<2°
●  强大的功率密度
●  LED使用寿命长:超过1万小时,相当于8-10年的使用时间
●  用户友好的触摸屏界面,可进行曝光周期编程
●  无需预热时间
●  直观的UV光源强度控制
●  自动化晶圆加载和卸载系统
●  可与玻璃和塑料光罩一起使用
●  在4英寸晶圆上具有很高的紫外线均匀度
●  集成紫外线仪表

可编程热板
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确保准确、均匀且稳定的温度设定点。该数字式热板设备可设置温度斜坡以进行加热和冷却。通过可编程控件使您的生活更加轻松,这些控件可以实现光刻过程的自动化。

适用于软光刻应用的设备

可编程热板的顶板和很大的加热表面积使它具有足够宽的区域,温度均匀,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻胶。温度斜坡使得能够减小光致抗蚀剂层内部的机械应力。可编程工具可进行长时间的光刻胶烘烤,而无需停留在设备的面前。

主要优势:
●  加热和冷却的温度斜坡曲线
●  4英寸晶圆的高温均匀性
●  微处理器显示屏保持温度恒定
●  最小温度超调
●  自动计时器
●  光滑的铝板,易于清洁光刻胶


更多信息

自动匹配您实验室现有设备的报价!
由于每个实验室都是不同的,因此,每个研究都是独特的,所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率最高的设备,从而增加或删除设备、配件、化学品等等。

请您随时联系我们并对您的实验设备进行评估且给出项目建议。

可选项
我们已经创建了基本报价,其中包含完整工具集所需要的一切,但是可以对其进行一些选择或修改以更好地满足您的需求。请查看我们的产品概述,以了解有关产品选项的更多信息。
    
除此之外,我们在这里收集了一些更适合您的SU-8模具工作站的可选设备。

空气压缩机

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配备高达8 bar的空气压缩机,可替换实验室内的任何气体管线。

显影振动机

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要对厚的光刻胶层进行轻松的显影,可以使用该显影工具,它将在您整个显影期间为您带来最佳抖动。


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