微流控芯片加工工作站
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微流控芯片加工工作站

一站式微流控PDMS芯片复制加工工作站

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即使没有无尘室,您也可以加工自己的PDMS芯片。
使用我们的PDMS芯片加工工作站,只需要在实验室内利用您的模具便可加工PDMS芯片。我们的PDMS芯片加工加工站包括所有设备,您可以利用该工作站立刻开始加工PDMS芯片。

制造您的PDMS芯片的一站式工作站
我们的PDMS复制工作站是一站式服务,无需购买任何其他设备。我们会根据您的需求来调整报价。

特点&优势
(1)芯片制造的高度可重复性过程
(2)包括用于PDMS键合的全自动等离子清洗机
(3)快速加工过程并在24小时内开发出您的芯片
(4)我们为您的软光刻工艺设备提供专业的知识

包含的组件
配套设备

(1)完整的空气等离子体系统
(2)快速PDMS固化用的烤箱
(3)PDMS去泡器
(4)加工PDMS膜用的旋涂机
配件与化学品
包括所有化学品(PDMS、异丙醇、丙酮等)和所有实验室配件(载玻片、培养皿、一次性杯子、搅拌棒、手术刀等),以便为您提供最完整的配件。


   
技术支持
标准支持包:
我们会为您提供所有仪器的售后服务,为您提供微细加工过程表格和教程,同时提供1年的电话支持,以回答您可能遇到的任何微细加工问题。

扩展支持包:除了标准的技术支持包,我们研发团队还会在您的实验中直接安装您的设备,我们会根据您的需求在现场调整我们的所有微加工工艺,并培训您的团队,直到准备好加工所有微流控芯片为止。

技术规格参数
我们为您选择并采用了最好的仪器,以使其与可靠的加工过程协同工作。您可以从下面看到设备的简短说明。

烘箱

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常规的干燥箱,前面板带双金属流体膨胀探头温度调节器。此烘箱的尺寸为4英寸晶圆,可让您有效地固化PDMS。

适用于软光刻应用的设备
该烘箱大小适合培养皿并可以一次加热两个模具。其最小的占位空间可实现快速预热和小耗电量。这个是一个真正的可移动设备,可以安装在任何地方。

主要优势:
(1)易于使用
(2)占位空间小,适合150 mm培养皿
(3)两个内部支架
(4)加热过程中有发光警报
(5)计时器可从1到120分钟


等离子清洗机

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这是第一个专门为PDMS键合而设计的等离子清洗机,这种自动等离子清洗机使您可以轻松地加工PDMS微流控芯片器件。由于其真空反馈回路,该等离子清洗机无需手动调整即可自动调节腔室内的真空。

适用于软光刻应用的设备

该等离子清洗机已针对与玻璃或PDMS的PDMS键合进行了专门优化。其独特的真空反馈回路使您能够进行自动且可重复的PDMS键合。

主要优势:
(1)自动压力调节,易于PDMS键合
(2)低压漂移计,随时间可重复加工过程的低压漂移计
(3)提供三个射频功率
(4)数字真空计
(5)可拆卸石英室,易于清洁

PDMS脱气套件

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PDMS在单体和固化剂之间混合后,会产生气泡,脱气套件可去除这种气泡。脱气套件由干燥器和真空泵组成,是在浇铸模具之前或之后进行脱气的简便工具,一旦加工芯片,也可以用于去除PDMS内部的空气。

使用干燥器进行除气仍然是最常用的技术,因为这是去除气泡的最简单的方法,不需要很高的投资。

主要优势:
(1)易于使用
(2)多功能设备
(3)低成本


甩胶机

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该旋涂机结构紧凑,并且具有高级功能。它适用于直径ø150 mm的晶圆和5” × 5”(127 mm × 127 mm)的基板。此旋涂机经过微调,可加工可控和可重复的SU-8光致抗蚀剂层。

适用于软光刻应用的设备

其紧凑的尺寸和附加的小面板控制使该设备实现真正的移动。该旋涂机已广泛应用于SU-8光刻胶涂层。盖子上的孔可以进行动态SU-8涂覆。通过蓝牙轻松连接到您的PC,您可以保存并命名您的实验配方。

主要优势:
(1)专为易用性设计
(2)易于通过操作面板或PC进行编程
(3)能够设置多种加速度和速度的复杂序列
(4)无堵塞,延长使用寿命
(5)低振动
(6)转速高达12000 rpm
(7)提供晶圆对中工具

更多信息
自动匹配您实验室现有设备的报价!

由于每个实验室都是不同的,因此,每个研究都是独特的,所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率最高的设备,从而增加或删除设备、配件、化学品等等。

请您随时联系我们并对您的实验设备进行评估且给出项目建议。

可选项
我们已经创建了基本报价,其中包含完整工具集所需要的一切,但是可以对其进行一些选择或修改以更好地满足您的需求。请查看我们的产品概述,以了解有关产品选项的更多信息。
    
除此之外,我们在这里收集了一些更适合您的SU-8模具工作站的可选设备。

空气压缩机

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配备高达8 bar的空气压缩机,可替换实验室内的任何气体管线。

真空泵

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小型真空泵可替换实验室内的任何真空管线,以便进行除气,并牢固地保持旋涂机上的所有基材。

超声浴清洗机

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在PDMS芯片加工过程中的任何一个步骤都可以进行完美的清洗

    
离心机

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一种在2分钟内为PDMS芯片脱气的明智选


微流控芯片PDMS实验室加工空间和一览


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相关应用

如何从SU-8模具中加工PDMS芯片?请点击 这里


PDMS微流控芯片的制作流程及其应用,请点击 这里


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