微流控芯片加工工作站
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微流控芯片加工工作站

一站式微流控SU8模具加工工作站

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没有无尘室,您依然可以加工自己的SU-8模具
我们的SU-8光刻台式工作站包括您在实验室加工微流体模具所需要的一切组件,即使没有超净间,凭借该SU-8模具工作站,您也可以加工出来具有与超净间相同的分辨率的模具。SU-8模具工作站可以缩短芯片加工的总时间,快速实验您自己的微流体实验研究。

一站式SU-8模具加工站
我们的SU-8模具加工站是一个交钥匙的产品,无需购买任何其他设备。基本上,仅需要一个化学通风厨和少量的工作空间。我们也会根据您实验室内现有的设备来调整报价。

优势&特点
(1)达到与超净室相同的图案分辨率
(2)获得强大的光刻胶图案,可用于众多未来的PDMS模塑。
(3)使用健壮的工艺流程,轻松实现可重复性
(4)即使没有微加工的初步知识,您也可以熟练的加工模具
(5)获得最好的模具加工设备,以确保您的设备具有较长的使用寿命

包含的组件
配套设备

(1)数字电热板
(2)UV灯系统
(3)可编程旋涂机
配件与化学品
包括所有化学药品(SU-8,SU-8显影液、Omnicoat、异丙醇、丙酮等)和所有实验室配件(微量移液枪、计时器、玻璃器皿、封口膜、镊子、金刚石刮板、硅片、玻璃载玻片、一次性杯子、搅拌棒、手术刀等),以便为您提供最完整的套件。



技术支持
标准技术支持包:我们会为您提供所有仪器的售后服务,为您提供微细加工过程表格和教程,同时提供1年的电话支持,以回答您可能遇到的任何微细加工问题。

扩展支持包:除了标准的技术支持包,我们研发团队还会在您的实验中直接安装您的设备,我们会根据您的需求在现场调整我们的所有微加工工艺,并培训您的团队,直到准备好加工所有微流控芯片为止。

技术规格参数
我们为您选择并采用了最好的仪器,以使其与可靠的加工过程协同工作。您可以从下面看到设备的简短说明。

旋涂机


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该旋涂机结构紧凑,并且具有高级功能。它适用于直径ø150 mm的晶圆和5” × 5”(127 mm × 127 mm)的基板。此旋涂机经过微调,可加工可控和可重复的SU-8光致抗蚀剂层。

适用于软光刻应用的设备

其紧凑的尺寸和附加的小面板控制使该设备实现真正的移动。该旋涂机已广泛应用于SU-8光刻胶涂层。盖子上的孔可以进行动态SU-8涂覆。通过蓝牙轻松连接到您的PC,您可以保存并命名您的实验配方。

主要优势
(1)专为易用性设计
(2)易于通过操作面板或PC进行编程
(3)能够设置多种加速度和速度的复杂序列
(4)无堵塞,延长使用寿命
(5)低振动
(6)转速高达12000 rpm
(7)提供晶圆对中工具

UV灯系统


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独特的UV LED曝光和遮罩系统(可选),具有365 nm或者385 nm波长的可用光源。这是一种非常紧凑的台式系统,能够对直径最大为4英寸的晶圆表面积进行曝光。该自动UV曝光系统与硬(物理)或软(接近)掩膜触点兼容,并具有可变的掩膜到基板距离的控制功能。

适用于软光刻应用的设备

该UV曝光系统具有2μm的分辨率,特别适合软光刻应用。闪光曝光可以减少光刻胶的内部机械应力。其体积小巧,可将其安装在所需的任何位置,尤其是在洁净室之外。

主要优势:
(1)晶圆表面上方的完美单色曝光(带宽低于10 nm)
(2)冷紫外线
(3)光线发散角<2°
(4)强大的功率密度
(5)LED使用寿命长:超过1万小时,相当于8-10年的使用时间
(6)用户友好的触摸屏界面,可进行曝光周期编程
(7)无需预热时间
(8)直观的UV光源强度控制
(9)自动化晶圆加载和卸载系统
(10)可与玻璃和塑料光罩一起使用
(11)在4英寸晶圆上具有很高的紫外线均匀度
(12)集成紫外线仪表

可编程热板

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确保准确、均匀且稳定的温度设定点。该数字式热板设备可设置温度斜坡以进行加热和冷却。通过可编程控件使您的生活更加轻松,这些控件可以实现光刻过程的自动化。

适用于软光刻应用的设备

可编程热板的顶板和很大的加热表面积使它具有足够宽的区域,温度均匀,可以在4英寸的晶片上有效地烘烤SU-8光刻胶。温度斜坡使得能够减小光致抗蚀剂层内部的机械应力。可编程工具可进行长时间的光刻胶烘烤,而无需停留在设备的面前。

主要优势:
(1)加热和冷却的温度斜坡曲线
(2)4英寸晶圆的高温均匀性
(3)微处理器显示屏保持温度恒定
(4)最小温度超调
(5)自动计时器
(6)光滑的铝板,易于清洁光刻胶
    
更多信息
自动匹配您实验室现有设备的报价!

由于每个实验室都是不同的,因此,每个研究都是独特的,所以我们会根据实际需求尽可能地调整报价。我们与您一起讨论什么是效率最高的设备,从而增加或删除设备、配件、化学品等等。

请您随时联系我们并对您的实验设备进行评估且给出项目建议。

可选项
我们已经创建了基本报价,其中包含完整工具集所需要的一切,但是可以对其进行一些选择或修改以更好地满足您的需求。请查看我们的产品概述,以了解有关产品选项的更多信息。
    
除此之外,我们在这里收集了一些更适合您的SU-8模具工作站的可选设备。

空气压缩机

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配备高达8 bar的空气压缩机,可替换实验室内的任何气体管线。

真空泵

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小型真空泵可替换实验室内的任何真空管线,以便进行除气,并牢固地保持旋涂机上的所有基材。

显影振动机

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要对厚的光刻胶层进行轻松的显影,可以使用该显影工具,它将在您整个显影期间为您带来最佳抖动。

光学轮廓仪

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如果要检查模具的厚度,我们可以为您提供此光学轮廓仪。该光学轮廓仪易于使用,体积小巧,适合您的实验室工作台,是市场上性价比最好的一款轮廓仪


微流控芯片PDMS实验室加工空间和一览


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相关应用

如何从SU-8模具中加工PDMS芯片?请点击 这里


PDMS微流控芯片的制作流程及其应用,请点击 这里


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